Ke engled chip? Joale litšobotsi tsa eona ke life? Tlhahiso ea lisebelisoa tsa LED haholo-holo ke ho etsa li-electrode tse sebetsang hantle le tse ka tšeptjoang tse tlase tsa ohmic, ho kopana le ho theoha ho fokolang ha motlakase pakeng tsa lisebelisoa tse ka amang, ho fana ka liphaephe tsa khatello bakeng sa lithapo tsa ho tjheseletsa, le ho hlahisa khanya ka hohle kamoo ho ka khonehang. Phetoho ea filimi hangata e sebelisa mokhoa oa vacuum evaporation. Tlas'a 4pa high vacuum, thepa e qhibilihisoa ke mocheso oa ho hanyetsa kapa mokhoa oa ho futhumatsa oa electron beam bombardment, 'me bZX79C18 e fetoha mouoane oa tšepe ebe o kenngoa holim'a thepa ea semiconductor tlas'a khatello e tlaase.

Ka kakaretso, tšepe ea mofuta oa p e sebelisoang e kenyelletsa Aube, auzn le lisebelisoa tse ling, 'me tšepe ea n-side hangata e amohela motsoako oa AuGeNi. Lera la ho kopana la electrode le lesela le pepenene la alloy le ka finyella litlhoko tsa mokhoa oa lithography ka katleho. Ka mor'a ts'ebetso ea photolithography, e boetse e etsoa ka mokhoa oa ho kopanya, oo hangata o etsoang tlas'a tšireletso ea H2 kapa N2. Nako le mocheso oa motsoako hangata li khethoa ho latela litšobotsi tsa lisebelisoa tsa semiconductor le sebopeho sa sebōpi sa alloy. Ha e le hantle, haeba ts'ebetso ea chip electrode e kang e putsoa le e tala e rarahane haholoanyane, khōlo ea filimi e sa bonahaleng le mokhoa oa ho eketsoa ha plasma o hloka ho eketsoa.

Ts'ebetsong ea tlhahiso ea chip ea LED, ke ts'ebetso efe e nang le phello ea bohlokoa ts'ebetsong ea eona ea photoelectric?

Ka kakaretso, ka mor'a hore ho phethoeTlhahiso ea epitaxial ea LED, thepa ea eona ea mantlha ea motlakase e phethetsoe, 'me tlhahiso ea chip e ke ke ea fetola tlhaho ea eona ea nyutlelie, empa maemo a sa lokelang nakong ea ho roala le ho kopanya a tla baka likarolo tse ling tse mpe tsa motlakase. Mohlala, mocheso o tlase kapa o phahameng oa alloying o tla baka khokahano e mpe ea ohmic, e leng lebaka le ka sehloohong la ho theoha ho matla ha VF ha ho etsoa li-chip. Kamora ho itšeha, haeba lits'ebetso tse ling tsa kutu li etsoa pheletsong ea chip, ho tla ba molemo ho ntlafatsa ho lutla ha chip. Lebaka ke hore ka mor'a ho khaola ka lehare la lebili le silang la daemane, lithōle tse ngata le phofo li tla sala moeling oa chip. Haeba tsena li khomaretsoe ho PN junction ea LED chip, li tla baka ho lutla ha motlakase esita le ho senyeha. Ho phaella moo, haeba photoresist holim'a chip holim'a chip e sa hlobolisoa e hloekile, e tla baka mathata ka pele ho tjheseletsa le ho tjheseletsa ka bohata. Haeba e le ka morao, e tla boela e baka ho theoha ha khatello e phahameng. Ts'ebetsong ea tlhahiso ea li-chip, matla a khanya a ka ntlafatsoa ka ho hohola bokaholimo le ho bo arola ka sebopeho se senyehileng sa trapezoidal.

Hobaneng ha li-chips tsa LED li lokela ho aroloa ka boholo bo fapaneng? Liphello tsa boholo ke life ts'ebetsong ea photoelectric ea LED?

Boholo ba chip ea LED bo ka aroloa ka chip ea matla a tlase, chip ea matla a mahareng le chip ea matla a phahameng ho latela matla. Ho ea ka litlhoko tsa bareki, e ka aroloa ka tekanyo ea tube e le 'ngoe, boemo ba digital, boemo ba matrix a matheba le mabone a khabisitsoeng. Ha e le boholo bo khethehileng ba chip, bo khethoa ho ea ka boemo ba sebele ba tlhahiso ea bahlahisi ba fapaneng ba li-chip, 'me ha ho na tlhokahalo e khethehileng. Hafeela ts'ebetso e ntse e feta, chip e ka ntlafatsa tlhahiso ea yuniti le ho fokotsa litšenyehelo, mme ts'ebetso ea photoelectric e ke ke ea fetoha haholo. Tšebeliso ea hona joale ea chip e hlile e amana le sekhahla sa hona joale se phallang ka har'a chip. Ha chip e nyenyane, tšebeliso ea hona joale e nyenyane, 'me ha chip e le khōlō, tšebeliso ea hona joale e kholo. Boima ba yuniti ea bona ha e le hantle bo tšoana. Ha ho nahanoa hore ho senya mocheso ke bothata bo ka sehloohong tlas'a boemo bo phahameng ba hona joale, katleho ea eona e khanyang e tlaase ho feta ea hona joale e tlaase. Ka lehlakoreng le leng, ha sebaka se ntse se eketseha, ho hanyetsa 'mele oa chip ho tla fokotseha, kahoo ho ea pele ho motlakase ho tla fokotseha.

Sebaka sa chip ea matla a phahameng a LED ke sefe? Hobaneng?

Li-chips tse nang le matla a holimobakeng sa khanya e tšoeu hangata e ka bang 40mil 'marakeng. Seo ho thoeng ke matla a ts'ebeliso ea li-chips tse matla haholo hangata se bolela matla a motlakase a fetang 1W. Kaha ts'ebetso ea quantum ka kakaretso e ka tlase ho 20%, boholo ba matla a motlakase a tla fetoloa matla a mocheso, kahoo mocheso oa mocheso oa matla a phahameng a matla ke oa bohlokoa haholo, 'me chip e hlokeha ho ba le sebaka se seholo.

Ke litlhoko life tse fapaneng tsa theknoloji ea chip le lisebelisoa tsa ho sebetsa bakeng sa ho etsa thepa ea GaN epitaxial ha e bapisoa le gap, GaAs le InGaAlP? Hobaneng?

Li-substrates tsa li-chips tse tloaelehileng tsa LED tse khubelu le tse mosehla le li-chips tse khanyang tsa Quad tse khubelu le tse mosehla li entsoe ka lisebelisoa tsa semiconductor tse kopantsoeng joalo ka gap le GaAs, tseo ka kakaretso li ka etsoang ka li-substrates tsa mofuta oa n. Mokhoa oa ho koloba o sebelisoa bakeng sa lithography, ebe lehare la lebili le silang la taemane le sebelisoa ho khaola chip. Chip e botala bo boputsoa ba thepa ea GaN ke sapphire substrate. Hobane substrate ea safire e kentsoe insulated, e ke ke ea sebelisoa e le palo e le 'ngoe ea LED. Hoa hlokahala ho etsa li-electrode tsa p / N holim'a epitaxial ka nako e le 'ngoe ka mokhoa o omileng oa etching, le mekhoa e meng ea passivation. Hobane safire e thata haholo, ho thata ho hula litsupa ka lehare la lebili le silang la taemane. Ts'ebetso ea eona ea thekenoloji ka kakaretso e ngata ebile e rarahane ho feta ea LED e entsoeng ka lisebelisoa tsa lekhalo le tsa GaAs.

Sebopeho le litšobotsi tsa "electrode transparent" chip ke eng?

Seo ho thoeng ke li-electrode tse pepeneneng e lokela ho ba conductive le pepeneneng. Hona joale thepa ena e sebelisoa haholo ts'ebetsong ea tlhahiso ea kristale ea metsi. Lebitso la eona ke indium tin oxide, e khutsufalitsoeng e le ITO, empa e ke ke ea sebelisoa e le sekontiri sa solder. Nakong ea ho etsoa, ​​​​electrode ea ohmic e tla etsoa holim'a chip, ebe lera la ITO le tla koaheloa ka holim'a metsi, ebe lesela la welding pad le tla kenngoa holim'a ITO. Ka tsela ena, hona joale ho tloha moetapele ho ajoa ka ho lekana ho electrode e 'ngoe le e' ngoe ea ohmic ka lera la ITO. Ka nako e ts'oanang, hobane index ea refractive ea ITO e pakeng tsa refractive index of air and epitaxial material, leseli le khanyang le ka ntlafatsoa 'me phallo e khanyang e ka eketseha.

Ke eng e ka sehloohong ea theknoloji ea chip bakeng sa mabone a semiconductor?

Ka nts'etsopele ea theknoloji ea LED ea semiconductor, ts'ebeliso ea eona tšimong ea mabone e ntse e eketseha, haholo-holo ho hlaha ha LED e tšoeu e fetohile sebaka se chesang sa mabone a semiconductor. Leha ho le joalo, chip ea bohlokoa le theknoloji ea ho paka li hloka ho ntlafatsoa. Mabapi le chip, re lokela ho nts'etsapele matla a phahameng, bokhoni bo phahameng bo khanyang le ho fokotsa ho hanyetsa mocheso. Ho eketsa matla ho bolela hore tšebeliso ea hona joale ea chip e eketseha. Tsela e tobileng ke ho eketsa boholo ba chip. Hona joale li-chips tse tloaelehileng tse nang le matla a phahameng ke 1mm × 1mm kapa joalo, 'me hona joale ho sebetsa ke 350mA Ka lebaka la keketseho ea tšebeliso ea hona joale, bothata ba ho senya mocheso bo fetohile bothata bo hlahelletseng. Hona joale bothata bona bo rarolloa ka mokhoa oa chip flip. Ka nts'etsopele ea theknoloji ea LED, ts'ebeliso ea eona tšimong ea mabone e tla tobana le monyetla le phephetso e e-so ka e e-ba teng.

Flip chip ke eng? Sebopeho sa eona ke sefe? Melemo ea eona ke efe?

Blue LED hangata e amohela substrate ea Al2O3. Al2O3 substrate e na le boima bo phahameng le conductivity e tlaase ea mocheso. Haeba e amohela sebopeho se hlophisitsoeng, ka lehlakoreng le leng, se tla tlisa mathata a anti-static; ka lehlakoreng le leng, ho senya mocheso le hona ho tla fetoha bothata bo boholo tlas'a hona joale. Ka nako e ts'oanang, hobane electrode e ka pele e phahame, leseli le leng le tla thibeloa, 'me katleho e khanyang e tla fokotseha. LED e nang le matla a phahameng a maputsoa e ka fumana khanya e sebetsang haholoanyane ka theknoloji ea chip flip chip ho feta theknoloji ea khale ea ho paka.

Hajoale, mokhoa o ka sehloohong oa sebopeho sa flip chip ke: pele, lokisa chip ea boholo bo boputsoa ba LED e nang le eutectic welding electrode, lokisa substrate ea silicon e kholoanyane ho feta chip e putsoa ea LED, 'me u etse lesela la khauta le tsamaisang terata. ultrasonic gold wire ball solder joint) bakeng sa ho tjheseletsa eutectic ho eona. Ebe, chip ea matla a phahameng a boputsoa ba LED le substrate ea silicon li hokahanngoa hammoho ka lisebelisoa tsa welding tsa eutectic.

Tšobotsi ea sebopeho sena ke hore lesela la epitaxial le kopane ka ho toba le silicon substrate, 'me ho hanyetsa mocheso oa silicon substrate ho tlaase haholo ho feta sapphire substrate, kahoo bothata ba ho senya mocheso bo rarolloa hantle. Hobane substrate ea safire e shebile holimo ka mor'a hore e phahamisoe, e fetoha sebaka se khanyang, 'me safire e bonaletsa, kahoo bothata ba ho ntša leseli le bona bo rarolloa. Lintlha tse ka holimo ke tsebo e nepahetseng ea theknoloji ea LED. Ke lumela hore ka tsoelo-pele ea saense le thekenoloji, mabone a LED a nakong e tlang a tla sebetsa hantle le ho feta, 'me bophelo ba tšebeletso bo tla ntlafatsoa haholo, e leng se tla re tlisetsa boiketlo bo bongata.